Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。英国爱德华晶圆半导体iH600干式真空泵维修
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
峰值速度 | 600 m3h-1 |
353 cfm | |
10000 l min-1 | |
极限真空 | 7 x 10-4 mbar |
5.3 x 10-4 Torr | |
0.07 Pa | |
典型轴封氮流量 | 4 slm |
进气口连接 | ISO100 |
出口连接 | NW40 |
15 psi 压降下典型冷却水流量 | 240 l h-1 |
4 l min-1 | |
重量 | 415 kg |
极限功率输入 | 3.4 kW |
电机额定功率 | 6.1 kW |
油容量 | 1.43 l |
所有数字均为无气镇时的典型值。
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