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产品名称: 爱德华STPA1603C STPA2203C涡轮分子真空泵
产品时间: 2019-04-21
产品型号: STPA1603C STPA2203C
产品特点: 小巧而强大的 Edwards STPA1603C 涡轮分子泵采用 Edwards 先进的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、高的可靠性和的性能,满足新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间,而其先进的沉积减少系统提高了可靠性和性能。爱德华STPA1603C STPA2203C涡轮分子真空泵

爱德华STPA1603C STPA2203C涡轮分子真空泵 的详细介绍

英国爱德华涡轮分子真空泵STPA1603C ISO200F 进气口

概述

小巧而强大的 Edwards STPA1603C 涡轮分子泵采用 Edwards 先进的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、高的可靠性和的性能,满足新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间,而其先进的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C 已经在的 200 mm 刻蚀工具上得到了证明,也能够满足新一代 300 mm 氧化物腐蚀制程的需要。爱德华STPA1603C STPA2203C涡轮分子真空泵

应用

  • 金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
  • 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 溅射
  • 离子注入源,射束线泵送端点站
  • MBE
  • 扩散
  • 光致抗蚀剂脱模
  • 晶体/晶膜生长
  • 晶片检查
  • 负载锁真空腔
  • 科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
  • 高能物理:射束线、加速器
  • 放射线应用:融合系统、回旋爱德华STPA1603C STPA2203C涡轮分子真空泵

    功能和优势

    先进的转子设计  

  • 改进的性能

  • 更高的气体吞吐量

  • 高度可靠

  • 免维护

  • 可用于严苛制程

  • 5 轴磁悬浮系统  

  • 无污染

  • 低振动

  • 防腐蚀  

  • 可用于严苛制程

  • 使用寿命延长

  • 紧凑型设计  

  • 占地面积小

  • 半机架控制器

  • 先进的控制器设计 

  • 自动调整

  • 自行诊断功能

  • 直流电机驱动

  • 无电池运行

    技术数据

    入口法兰ISO200F
    出口KF40
    吹扫口KF16
    水冷却接头PT1/4
    抽速 
      N21600 ls-1
      H21200 ls-1
    压缩比 
      N2>108
      H2>7 x 103
    加热时的极限压力10-7 Pa
    大允许前级压力266 Pa
     (2 Torr)
    大氮气吞吐量2500 sccm
    额定速度36500 rpm
    启动时间7 分钟
    固定位置任意
    水冷却流量2 lmin-1
    温度5-25 °C
    压力0.3 MPa
    推荐的吹扫气体流量20 sccm
    输入电压200 至 240 (± 10) V 交流
    功耗0.85 kVA
    泵重量35 kg
    控制器重量9 kg

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济南青岛威海德州连云港昆明九江安庆爱德华STPA2203C、STPA1603C 涡轮分子真空泵

一、进口真空泵维修:
1、BOC EDWARDS(爱德华):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(贝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其乐):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
9、ULVAC(爱发科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA(岩田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL(汉钟)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、进口真空泵配件销售:
1、类型:真空泵维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
2、品牌:BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、进口真空油销售:
品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。

 

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