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产品名称: 英国爱德华涡轮分子真空泵STP301 STP603
产品时间: 2019-04-15
产品型号: STP301 STP603
产品特点: Edwards STP301 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子技术可实现性能,大的制程灵活性。STP301 已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。英国爱德华涡轮分子真空泵STP301 STP603

英国爱德华涡轮分子真空泵STP301 STP603 的详细介绍

英国爱德华涡轮分子泵STP301、STP603 ISO100 入口 KF25 出口

概述

Edwards STP301 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子技术可实现的性能,大的制程灵活性。STP301 已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。
 
此 STP 泵在供货时带有入口筛网。
  
如需完整安装,请订购一台 STP 泵、一个控制器、一根连接电缆和一根电源电缆。英国爱德华涡轮分子真空泵STP301 STP603
 

应用

  • 金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
  • 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 溅射
  • 离子注入源,射束线泵送端点站
  • MBE
  • 扩散
  • 光致抗蚀剂脱模
  • 晶体/晶膜生长
  • 晶片检查
  • 负载锁真空腔
  • 科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
  • 高能物理:射束线、加速器
  • 放射线应用:融合系统、回旋英国爱德华涡轮分子真空泵STP301 STP603

    功能和优势

    先进的转子技术  

  • 大的制程灵活性

  • 无油

  • 低振动

  • 高度可靠

  • 免维护

  • 先进的控制器设计  

  • 自动调整

  • 自行诊断功能

  • 直流电机驱动

  • 无电池运行

  • 紧凑型设计  

  • 占地面积小

  • 半机架控制器

    技術データ

    入口法兰ISO100,CF100
    出口KF25
    抽速 
      N2300 ls-1
      H2300 ls-1
    压缩比 
      N2>108
      H2>2 x 104
    加热时的极限压力(VG/ISO 法兰)6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr)
    加热时的极限压力(ICF 法兰)10-8 Pa (10-10 Torr)
    大允许进气口压力(环境空气冷却)0.066 Pa (5 x 10-4 Torr)
    大连续出口压力(环境空气冷却)13 Pa (0.1 Torr)
    额定速度48000 rpm
    启动时间3 min
    高入口法兰温度120 °C
    输入电压100 至 120 (± 10%) V 交流或
     200 至 240 (± 10%) V 交流
    启动时的功耗0.55 kVA
    泵重量11 kg
    控制器重量7 kg

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一、进口真空泵维修:
1、BOC EDWARDS(爱德华):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(贝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其乐):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
9、ULVAC(爱发科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA(岩田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL(汉钟)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、进口真空泵配件销售:
1、类型:真空泵维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
2、品牌:BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、进口真空油销售:
品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。

 

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