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产品名称: 英国爱德华涡轮分子真空泵STP-XA3203C维修
产品时间: 2019-04-15
产品型号: STP-XA3203C STP-XA4503C
产品特点: STP-XA3203C 涡轮泵为高真空到 2300 sccm 制程流的制程范围内提供高性能,并提高所有气体的吞吐量。
此泵基于新的平台设计,提供各种功能以改善热管理,从而增强在严苛制程中的性能,提高大制程流能力,并减少腐蚀和沉积的影响。英国爱德华涡轮分子真空泵STP-XA3203C维修

英国爱德华涡轮分子真空泵STP-XA3203C维修 的详细介绍

英国爱德华涡轮分子泵STP-XA3203C、STPXA4503C ISO320F

 

概述

STP-XA3203C 涡轮泵为高真空到 2300 sccm 制程流的制程范围内提供高性能,并提高所有气体的吞吐量。 

此泵基于新的平台设计,提供各种功能以改善热管理,从而增强在严苛制程中的性能,提高大制程流能力,并减少腐蚀和沉积的影响。

其出色的性能既适用于温和的应用环境,也适用于严苛的环境,例如半导体刻蚀、注入、光刻和 LCD 制程。英国爱德华涡轮分子真空泵STP-XA3203C维修

应用

  • 金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
  • 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 溅射
  • 离子注入源,射束线泵送端点站
  • MBE
  • 扩散
  • 光致抗蚀剂脱模
  • 晶体/晶膜生长
  • 晶片检查
  • 负载锁真空腔
  • 科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
  • 高能物理:射束线、加速器
  • 放射线应用:融合系统、回旋

 

功能和优势

先进的转子设计  

  • 增强的 H2、N2 和 Ar 性能

  • 改进了在高真空到 2300 sccm 制程压力范围内的性能

  • 免维护

5 轴磁悬浮系统  

  • 无污染

  • 低振动

创新性转矩管理  

  • 获得转矩减少机械装置

优化的温度管理系统  

  • 高温 TMS 能力

  • 低沉积

  • 内置冷却机械装置

  • 更高的气体吞吐量(加热和未加热)

  • 延长寿命

  • 可用于严苛制程英国爱德华涡轮分子真空泵STP-XA3203C维修

认证  

  • 符合 SEMI®,具有 CE 标记,列于 UL 中

 

技术数据

入口法兰ISO320F
抽速 
  N23200 ls-1
  H22300 ls-1
压缩比 
  N2>108
  H2>6 x 103
极限压力10-7 Pa
大允许前级压力266 Pa
大允许气体流量 
N2(水冷却)2300 sccm
 (3.8 Pam3s-1)
Ar(水冷却)1900 sccm
 (3.2 Pam3s-1)
额定速度27500 rpm
启动时间8 min
固定位置任何方向
水冷却 
流量3 lmin-1
温度5-25 °C (41-77 °F)
压力0.3 MPa
推荐的吹扫气体流量50 sccm
 (8.4 x 10-2 Pam3s-1)
输入电压200 至 240 (± 10) V 交流
功耗1.5 kVA
泵重量80 kg (176 lb)
控制器重量12 kg (26.4 lb)

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荆州太原兰州乌鲁木齐石家庄天津长春吉林英国爱德华涡轮分子真空泵STP-XA4503C保养、STP-XA3203C维修

济南青岛威海德州连云港昆明九江安庆英国爱德华涡轮分子真空泵STP-XA4503C保养、STP-XA3203C维修

 

     


    一、进口真空泵维修:
    1、BOC EDWARDS(爱德华):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
    2、ALCATEL(阿尔卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
    3、LEYBOLD(莱宝):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
    4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
    5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
    6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
    7、BECKER(贝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
    8、RIETSCHLE(里其乐):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
    9、ULVAC(爱发科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
    10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
    11、IWATA(岩田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
    12、HANBELL(汉钟)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

    二、进口真空泵配件销售:
    1、类型:真空泵维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
    2、品牌:BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。

    三、进口真空油销售:
    品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。

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