Edwards STP1003 是新型的涡轮分子泵,可用于良好的半导体应用。Edwards 的转子技术可实现的性能,大的制程灵活性。这种泵已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。英国爱德华STP1003 涡轮分子真空泵维修
良好的转子技术
大的制程灵活性
无油
低振动
高度可靠
免维护
可用于严苛制程(C 型)
使用寿命延长
良好的控制器设计
自动调整
自行诊断功能
直流电机驱动
无电池运行
紧凑型设计
占地面积小
半机架控制器英国爱德华STP1003 涡轮分子真空泵维修
入口法兰 | ISO200F |
出口 | KF40 |
吹扫口 | KF10 |
抽速 | |
N2 | 1000 ls-1 |
H2 | 800 ls-1 |
压缩比 | |
N2 | >108 |
H2 | >105 |
加热时的极限压力(VG/ISO 法兰) | 10-7 Pa |
(10-9 Torr) | |
加热时的极限压力(ICF 法兰) | 10-8 Pa |
(10-10 Torr) | |
大连续出口压力 | 13 Pa |
(0.1 Torr) | |
额定速度 | 35000 rpm |
启动时间 | 6 分钟 |
高入口法兰温度 | 120 °C |
输入电压 | 100 至 120 (± 10) V 交流或 |
至 240 (± 10) V 交流 | |
启动时的功耗 | 0.8 kVA |
泵重量 | 31 kg |
控制器重量 | 9 kg |
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