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产品名称: 英国爱德华STP1003 涡轮分子真空泵维修
产品时间: 2019-04-21
产品型号: STP1003 STP1003C
产品特点: Edwards STP1003 是新型的涡轮分子泵,可用于先进的半导体应用。Edwards 的转子技术可实现的性能,大的制程灵活性。这种泵已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。英国爱德华STP1003 涡轮分子真空泵维修

英国爱德华STP1003 涡轮分子真空泵维修 的详细介绍

英国爱德华STP1003 、STP1003C DN200CF 进气口

概述

Edwards STP1003 是新型的涡轮分子泵,可用于先进的半导体应用。Edwards 的转子技术可实现的性能,大的制程灵活性。这种泵已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。英国爱德华STP1003 涡轮分子真空泵维修

应用

  • 金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
  • 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 溅射
  • 离子注入源,射束线泵送端点站
  • MBE
  • 扩散
  • 光致抗蚀剂脱模
  • 晶体/晶膜生长
  • 晶片检查
  • 负载锁真空腔
  • 科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
  • 高能物理:射束线、加速器
  • 放射线应用:融合系统、回旋

    功能和优势

    先进的转子技术  

  • 大的制程灵活性

  • 无油

  • 低振动

  • 高度可靠

  • 免维护

  • 可用于严苛制程(C 型)

  • 使用寿命延长

  • 先进的控制器设计  

  • 自动调整

  • 自行诊断功能

  • 直流电机驱动

  • 无电池运行

  • 紧凑型设计  

  • 占地面积小

  • 半机架控制器英国爱德华STP1003 涡轮分子真空泵维修

    技术数据

    入口法兰ISO200F
    出口KF40
    吹扫口KF10
    抽速 
      N21000 ls-1
      H2800 ls-1
    压缩比 
      N2>108
      H2>105
    加热时的极限压力(VG/ISO 法兰)10-7 Pa
     (10-9 Torr)
    加热时的极限压力(ICF 法兰)10-8 Pa
     (10-10 Torr)
    大连续出口压力13 Pa
     (0.1 Torr)
    额定速度35000 rpm
    启动时间6 分钟
    高入口法兰温度120 °C
    输入电压100 至 120 (± 10) V 交流或
     至 240 (± 10) V 交流
    启动时的功耗0.8 kVA
    泵重量31 kg
    控制器重量9 kg

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