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产品名称: 英国爱德华iH晶圆半导体干式真空泵iH80维修
产品时间: 2019-03-24
产品型号: iH80、iH160、iH600
产品特点: Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能英国爱德华iH晶圆半导体干式真空泵iH80维修

英国爱德华iH晶圆半导体干式真空泵iH80维修 的详细介绍

英国爱德华iH晶圆半导体干式真空泵iH80维修

概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
  
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

应用

  • 负载锁
  • 输送
  • 计量
  • 平版印刷
  • PVD 制程
  • PVD 预清洁
  • RTA
  • 剥离/灰化
  • 刻蚀
  • 植入源
  • HDP CVD
  • RTP
  • SACVD
  • MCVD
  • PECVD
  • LPCVD
  • ALD

 

功能和优势

  • 优化了设施消耗。
  • 无需预防性维护。
  • 悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
  • 在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
  • 耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
  • 较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
  • 整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度103 m3h-1
 61 cfm
 1717 l min-1
极限真空1 x 10-2 mbar
 7.5 x 10-3 Torr
 1 Pa
典型轴封氮流量4 slm
进气口连接ISO63
出口连接NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量120 l h-1
 2 l min-1
重量240 kg
极限功率输入2.7 kW
电机额定功率3.5 kW
油容量0.7 l


  
所有数字均为无气镇时的典型值。

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