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产品名称: 英国爱德华罗茨真空泵EH4200C 230/460V
产品时间: 2019-03-08
产品型号: EH4200C EH4200
产品特点: EH 机械增压泵Edwards EH 机械增压泵采用独特的液力驱动,可实现高效的动力传送,在经济性、性能和紧凑性方面拥有优势。这些增压泵适用于高压力差的场合,这种高压力差使增压泵可以与前级泵同时启动,从而减少总体抽气时间。英国爱德华罗茨真空泵EH4200C 230/460V

英国爱德华罗茨真空泵EH4200C 230/460V 的详细介绍

英国爱德华罗茨真空泵EH4200C 230/460V,3 相,60Hz,15hp

概述

防爆型机械增压泵已经过鉴定,可以在潜在易爆气体环境中使用。

EH4200C 机械增压泵已经过鉴定,可用于 CSA Division 1 区域、气体 Class I、Group C D 和灰尘 Class II Group F G、温度 Class T3C。泵的温度分类基于在零流量、低于 10 mbar (1 x 103 Pa) 的临界前级压力下保持的泵出气口压力。

EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。

防爆型机械增压泵可能配备防爆型电机,或作为防爆型系统的一部分供货。请咨询 Edwards。英国爱德华罗茨真空泵EH4200C 230/460V​

应用

  • 半导体制程
  • 真空蒸馏
  • 真空包装
  • 钢脱气
  • 薄膜覆层
  • 真空冶金
  • 低密度风洞
  • 空间模拟
  • 真空浸渍
  • 油干燥和脱气
  • 制药冷冻干燥
  • CO2 激光英国爱德华罗茨真空泵EH4200C 230/460V​

a30956982 - EH4200C 230/460V,3 相,60Hz,15hp

EH4200C 230/460V,3 相,60Hz,15hp

A30956982

 

功能和优势

  • 适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。

  • 它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

  • EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:

    • 安静的无振动运行。

    • 牢靠且防腐蚀。

    • 先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染

  • 防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

  • 经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到低。

  • 轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

  • 动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

技术数据

容积(工作容积) 
50Hz4140 m3h-1/2440 ft3min-1
60Hz4985 m3h-1/2935 ft3min-1
使用后备泵时的有效抽取速度 
E2M2753100 m3h-1/1825 ft3min-1
泵的压差 † 
50Hz0-70 mbar/0-52 Torr
60Hz0-50 mbar/0-38 Torr
入口连接ISO250
出口连接ISO100
转速 
50Hz0-2900 rpm
60Hz0-3500 rpm
连续入口操作压力0-1000 mbar/0-760 Torr
大出口压力1000 mbar/760 Torr
推荐的后备泵GXS450、E2M275
电源供给 
50Hz220-240V/380-415V
60Hz230V/460V
马达功率 
碳氢化合物11kW/15hp
PFPE11kW/15hp
ATEX11kW
防爆型15hp
环境温度范围 
操作5 至 40°C/40 至 104°F
存储-10 至 80°C/14 至 176°F
大操作湿度90% RH
推荐的冷却水流量(入口温度 20°C)*250 l h-1/1.1 gal min-1
推荐的冷却水供应压力*2-6 bar
冷却水接头*3/8 英寸 BSP 阳螺纹
推荐用油 
标准型Ultragrade 20
PFPE 版本Fomblin® YVAC 16/6
油容量 
齿轮箱3.5 升
联结器箱6.5 升
轴杆封口储油器1.5 升
重量**481 kg/1058 lb


* 在许多情况下,泵可在没有冷却水的情况下操作。是否适合 Edwards 请了解详细信息。
** 重量请参考 IND 版本
†.取决于压力

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