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产品名称: 英国爱德华真空分子涡轮泵STP-L301C
产品时间: 2019-04-09
产品型号: STP-L301C
产品特点: Edwards 的防腐蚀 STP-L301(C) 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子技术可实现的性能,大的制程灵活性。英国爱德华真空分子涡轮泵STP-L301C

英国爱德华真空分子涡轮泵STP-L301C 的详细介绍

英国爱德华涡轮分子真空泵STP-L301C ISO100 入口

概述

Edwards 的防腐蚀 STP-L301(C) 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子技术可实现的性能,大的制程灵活性。英国爱德华真空分子涡轮泵STP-L301C
  

STP-L301(C) 已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。英国爱德华真空分子涡轮泵STP-L301C

应用

  • 金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
  • 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 溅射
  • 离子注入源,射束线泵送端点站
  • MBE
  • 扩散
  • 光致抗蚀剂脱模
  • 晶体/晶膜生长
  • 晶片检查
  • 负载锁真空腔
  • 科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
  • 高能物理:射束线、加速器
  • 放射线应用:融合系统、回旋

 

功能和优势

先进的转子技术  

  • 大的制程灵活性

  • 无油

  • 低振动

  • 高度可靠

  • 免维护

先进的控制器设计  

  • 自动调整

  • 自行诊断功能

  • 直流电机驱动

  • 无电池运行

紧凑型设计  

  • 占地面积小

  • 半机架控制器

低振动  

  • 内置振动隔离系统提供了优于 STP301C 和外部隔离器的性能。

     

    技术数据

    入口法兰ISO100,CF100
    出口KF25
    吹扫口KF10
    抽速 
      N2260 ls-1
      H2290 ls-1
    压缩比 
      N2>108
      He5 x 105
      H22 x 104
    加热时的极限压力(VG/ISO 法兰)6.5 x 10-6 Pa
     (5 x 10-8 Torr)
    加热时的极限压力(ICF 法兰)10-8 Pa
     (10-10 Torr)
    大允许进气口压力(环境空气冷却)6.7 x 10-2 Pa
     (5 x 10-4 Torr)
    大连续出口压力(环境空气冷却)13 Pa
     (0.1 Torr)
    额定速度48000 rpm
    启动时间3 min
    高入口法兰温度120 °C
    输入电压100 至 120 (± 10) V 交流或
     200 至 240 (± 10) V 交流
    启动时的功耗0.55 kVA
    泵重量13 kg
    控制器重量7 kg

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    南昌赣州武汉成都重庆荆州太原兰州英国爱德华真空分子涡轮泵维修STP-L301C

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    青岛威海德州连云港昆明九江安庆英国爱德华真空分子涡轮泵维修STP-L301C

    一、进口真空泵维修:
    1、BOC EDWARDS(爱德华):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
    2、ALCATEL(阿尔卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
    3、LEYBOLD(莱宝):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
    4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
    5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
    6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
    7、BECKER(贝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
    8、RIETSCHLE(里其乐):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
    9、ULVAC(爱发科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
    10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
    11、IWATA(岩田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
    12、HANBELL(汉钟)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

    二、进口真空泵配件销售:
    1、类型:真空泵维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
    2、品牌:BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。

    三、进口真空油销售:
    品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。

     

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