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产品名称: 爱德华真空分子涡轮泵STP-iXA2206C
产品时间: 2019-04-09
产品型号: STP-iXA2206C
产品特点: STP-iXA2206 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内。 该泵的高度等于 STP-A2203C 的高度,也等于 STP-iXA2205 系列(不带其电源供给 (iPS-1200))的高度。爱德华真空分子涡轮泵STP-iXA2206C

爱德华真空分子涡轮泵STP-iXA2206C 的详细介绍

英国爱德华STP-iXA2206C ISO250F涡轮分子泵

製品概要

STP-iXA2206 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内,可将小型电源供给集成到机载控制器内( 该泵的高度等于 STP-A2203C 的高度,也等于 STP-iXA2205 系列(不带其电源供给 (iPS-1200))的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。爱德华真空分子涡轮泵STP-iXA2206C

用途

  • 金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
  • 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 溅射
  • 离子注入源,射束线泵送和站

    特性与优势

  • 紧凑型设计,包括完全集成的控制器
  • 创新性自传感磁力轴承系统
  • 数字化 5 轴控制
  • 与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
  • 可以配置为运行腐蚀性制程爱德华真空分子涡轮泵STP-iXA2206C

    技术数据

    入口法兰尺寸ISO250F/VG250/ICF305
    前级抽气口尺寸KF40
    抽速 N2/Ar2200/1900 ls-1
    压缩比 N2/H2>108 / 1 x 104
    极限压力10-7 Pa (10-9 Torr)
    允许的前级压力266  Pa (2 Torr)
    大气流 N2 *(仅水冷)3000 sccm
     (5.07 Pam3s-1)
    大气流 Ar *(仅水冷)1400 sccm
     (2.36 Pam3s-1)
    额定速度27000 rpm
    运转到 90% 额定速度的时间<8 分钟
    固定位置任何方向
    输入电压200-240 V
    大输入功率(不带 TMS)1200 VA
    重量62 kg


    * 大气流适用于在 15-25 °C 之间的水冷却温度下连续泵送 N2 或 Ar 气体,并且使用前级泵(10,000 l/min 大小)的情况。 它会随条件变化而变化。

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一、进口真空泵维修:
1、BOC EDWARDS(爱德华):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(贝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其乐):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
9、ULVAC(爱发科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA(岩田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL(汉钟)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、进口真空泵配件销售:
1、类型:真空泵维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
2、品牌:BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、进口真空油销售:
品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。

 

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