英国爱德华STP-iXA2206C ISO250F涡轮分子泵

製品概要

STP-iXA2206 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内，可将小型电源供给集成到机载控制器内（ 该泵的高度等于 STP-A2203C 的高度，也等于 STP-iXA2205 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。 这一*集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。爱德华真空分子涡轮泵STP-iXA2206C

用途

• 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
• 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
• 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 溅射
• 离子注入源，射束线泵送和站

  特性与优势

• 紧凑型设计，包括*集成的控制器
• 创新性自传感磁力轴承系统
• 数字化 5 轴控制
• 与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
• 可以配置为运行腐蚀性制程爱德华真空分子涡轮泵STP-iXA2206C

  技术数据

  入口法兰尺寸	ISO250F/VG250/ICF305
  前级抽气口尺寸	KF40
  抽速 N2/Ar	2200/1900 ls-1
  压缩比 N2/H2	>108 / 1 x 104
  极限压力	10-7 Pa (10-9 Torr)
  允许的前级压力	266  Pa (2 Torr)
  大气流 N2 *（仅水冷）	3000 sccm
  	(5.07 Pam3s-1)
  大气流 Ar *（仅水冷）	1400 sccm
  	(2.36 Pam3s-1)
  额定速度	27000 rpm
  运转到 90% 额定速度的时间	<8 分钟
  固定位置	任何方向
  输入电压	200-240 V
  大输入功率（不带 TMS）	1200 VA
  重量	62 kg

  
  * 大气流适用于在 15-25 °C 之间的水冷却温度下连续泵送 N2 或 Ar 气体，并且使用前级泵（10,000 l/min 大小）的情况。 它会随条件变化而变化。

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一、进口真空泵维修：
1、BOC EDWARDS(爱德华)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(贝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其乐)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
9、ULVAC(爱发科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（岩田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（汉钟）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、进口真空泵配件销售：
1、类型：真空泵维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、进口真空油销售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。