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产品名称: 英国爱德华GX1000N 干式真空泵维修保养
产品时间: 2019-04-01
产品型号: GX1000N
产品特点: GX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。 效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续*的泵送能力。英国爱德华GX1000N 干式真空泵维修保养

英国爱德华GX1000N 干式真空泵维修保养 的详细介绍

 

英国爱德华GX1000N 干式泵 200-230 V 50/60 Hz

製品概要

GX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。 效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续*的泵送能力。英国爱德华GX1000N 干式真空泵维修保养

GX 泵的峰值速度范围很宽,并可以改变以适合各种应用条件,包括从清洁到中等负载制程。 模块化设计允许用户对 GX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。 超紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。英国爱德华GX1000N 干式真空泵维修保养

应用

  • 负载锁
  • 输送
  • 计量
  • 平版印刷
  • PVD 制程
  • PVD 预清洁
  • RTA
  • 剥离/灰化
  • 氧化物腐蚀
  • 金属腐蚀
  • 植入源

     

    功能和优势

    • 低运行成本

      • 与 iL/iH 干泵相比,设施成本多可降低 50%

      • 无需预防性维护

    • 灵活的安装选项

      • 小巧轻便,便于安装

      • 工具上、近程或远程

    • 可以改进工具吞吐量

      • 可用的较快的负载锁定泵之一

    • 全程*的泵送性能

      • 在 50 和 60 Hz 下抽速相同

    • 降低了环境噪音

      • 仅 55 dB(A)

    • 峰值速度范围宽

      • 100、300、600 和 800 m3h-1

        技术数据

        绩效 
        峰值速度800 m3h-1
         471 ft3min-1
         13333 lmin-1
        极限压力1 x 10-3 mbar
         7.5 x 10-4 Torr
         0.10 Pa
        700 Torr 排气压力下的极限 
        功率1.6 kW
        AUC(有源设备控制器)1.05 kW
        水* 
        水入口2 slm
        氮气4 或 14 slm **
        安装详细信息 
        占地面积(不包括排气装置)0.20 m2
        重量230 kg
        进气口连接ISO 100
        出气口连接NW25
        极限噪音<55 dB(A)


          
        * 需要恒流阀附件
        ** 氮吹扫可以手动调整到大 39slm 的流量

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    温州台州衢州绍兴金华宁波余姚福州厦门英国爱德华GX1000N 维修、PECVD干式真空泵维修保养
    泉州深圳广州珠海广州惠州通州桂林南宁英国爱德华GX1000N 维修、PECVD干式真空泵维修保养

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    石家庄天津长春吉林济南青岛威海德州连云港昆明九江安庆英国爱德华GX1000N 维修、PECVD干式真空泵维修保养

    一、进口真空泵维修:
    1、BOC EDWARDS(爱德华):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
    2、ALCATEL(阿尔卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
    3、LEYBOLD(莱宝):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
    4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
    5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
    6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
    7、BECKER(贝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
    8、RIETSCHLE(里其乐):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
    9、ULVAC(爱发科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
    10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
    11、IWATA(岩田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
    12、HANBELL(汉钟)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

    二、进口真空泵配件销售:
    1、类型:真空泵维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
    2、品牌:BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。

    三、进口真空油销售:
    品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。

     

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