英国爱德华半导体EPX180L 干式真空泵
新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,运行成本更低。EPX180 使用了*的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。
模块化 EPX180 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列,可提供的性能,与 IPX 相比,包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。英国爱德华EPX180L干式真空泵维修保养
EPX 泵系统在大气压和极限真空之间的压力下工作,增压室内无润滑或密封液。这样可以确保泵送系统清洁,不会因为系统的排空而使油或液体回流到系统中。
泵的定子和封闭马达通过集成化水冷回路进行冷却。因此,EPX 泵适合在不允许使用风扇的洁净室环境下使用。冷却水供应和回水管通过水接头(由客户)连接到泵。冷却水的提供必须与环境条件(湿度和温度)相当,以便不会达到结露点。
泵装有一个 EMC 供应过滤器和一个变换器驱动,该驱动可提供和控制泵马达的电源。前盖上的 LED 标识 EPX 泵的状态。马达速度取决于泵入口处的压力。当泵在入口压力处于或接近大气压的情况下启动时,马达会加速到某个速度,该速度受可以由变换器驱动提供的电流限制。随着入口处的压力降低,马达速度会加快,直至该速度终达到其预定的大速度。如果入口处的压力增大,则马达速度会再次减慢。
EPX L 系列的泵不能进行手动操作;这些泵必须通过外部控制设备进行控制和监视,而控制设备必须通过工具接口模块 (TIM) 连接到 EPX 泵。
EPX 泵由四个振动隔离器进行支持。
泵保护传感器可在出现故障状态时自动关闭泵。英国爱德华EPX180L干式真空泵维修保养
峰值速度 | 170 m3h-1 |
105 ft3min-1 | |
2835 lmin-1 | |
极限真空 | |
<1 x 104 mbar | |
<7.5 x 10-5 Torr | |
<1 x 10-2 Pa | |
预热时间(达到标称性能) | 30 分钟 |
入口法兰 | ISO63 |
出口法兰 | NW25 |
噪音 | <59 dB(A) |
水接头 | 3/8 in 快速 |
小冷却水流速 | 2 lm-1 |
冷却水温度 | 15 – 35°C |
电源供给 | 200/208 V,50/60 Hz 三相 |
极限功率 | 1.4 kW |
电机额定功率 | 3.0 kW |
TIM | C3 |
重量 | 43.5 kg |
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