英国爱德华罗茨真空泵EH500C 460V，3 相，60Hz，3hp

概述

防爆型机械增压泵已经过鉴定，可以在潜在易爆气体环境中使用。

EH500C 机械增压泵已经过鉴定，可用于 CSA Division 1 区域、气体 Class I、Group C D 和灰尘 Class II Group F G、温度 Class T3C。泵的温度分类基于在零流量、低于 10 mbar (1 x 103 Pa) 的临界前级压力下保持的泵出气口压力。

EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。

防爆型机械增压泵可能配备防爆型电机，或作为防爆型系统的一部分供货。请咨询 Edwards。英国爱德华罗茨真空泵EH500C 460V维修保养​

应用

• 半导体制程
• 真空蒸馏
• 真空包装
• 钢脱气
• 薄膜覆层
• 真空冶金
• 低密度风洞
• 空间模拟
• 真空浸渍
• 油干燥和脱气
• 制药冷冻干燥
• CO₂ 激光

EH500C 460V，3 相，60Hz，3hp

NRA999000

功能和优势

• 适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m³h^-1/1776 ft³min^-1 的高抽速的应用场合。

• 它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

• EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：

  • 安静的无振动运行。

  • 牢靠且防腐蚀。

  • 良好的轴封技术，处理舱中不会出现油污染

• 防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

• 经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到低。

• 轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

• 动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是良好技术设备的制造商所需要的。英国爱德华罗茨真空泵EH500C 460V维修保养​

技术数据

*重量请参考 IND 版本

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