欧瑞康莱宝真空的SC系列涡旋泵的主要技术参数为:
·可以提供抽速为5, 15,30和60m3/h的4款产品SC5D/15D/30D/60D;
·高极限真空,zui低可达0.01mbar;
·低噪声;
·低振动;
·允许进气压力大;
·重量轻;
·能耗低;
应用范围:
·电子束焊接;
·激光;
·检漏系统;
·加速器/同步加速器;
·表面分析仪;
·STM’s;
·ELMI;
·小型涡轮泵组;
·进样室;