欧瑞康莱宝公司的DRYVAC系列螺杆式无油压缩真空泵,专为真空应用的特殊需求而开发,适用于太阳能、平板显示、LED、加工工业等应用。干式螺杆结构的气路短且简单,工艺气体在泵内停留时间短,工艺气体夹杂的粉尘颗粒等在泵内沉积的可能性大大减小,提高了泵运行稳定性。DRYVAC全系为水冷泵,尺寸非常紧凑,系统集成性好,方便与莱宝的WH/WSU/WAU系列罗茨泵集成为泵组。
主要技术参数:
抽速:450~5000m3/h
极限真空度:<0.005mbar
电机功率:11~30KW
噪音:65dB(A)
冷却方式:水冷
主要特性及优点:
1、泵为*密封结构,对外只有无磨损的O圈静密封,消除泄漏可能,适用于敏感性工艺。
2、尺寸紧凑,占地面积小高度低,进气口三个方向可选,非常方便集成入整体系统/设备中。
3、优化的螺杆/电机设计,使其成为目前市场上zui省电的螺杆泵,低于10mbar运行<7Kw(DV650)。
4、泵为变频器控制,集成了温度、排气压强、电流、吹扫气压力等监控保护,提高运行可靠性。
5、水冷泵向环境散热少,噪音低,操作简单。
6、极少的维护保养需求和运行成本,zui大的可靠性、灵活性和系统正常运行时间。
典型应用:
薄膜太阳能——SiN, ZnO, α-Si/?-Si, CdTe, CIS/CIGS,,etc.
晶硅太阳能——PECVD,拉晶和铸锭
进出片室LL&ULL
显示器和玻璃镀膜
耐磨涂层技术
卷绕镀
真空炉和热处理
真空干燥
电子束焊接
空间模拟
科研领域