轻量、紧凑、销量高，低温泵的标准。适用于实验装置与小型生产装置。可以多台运行（大3台）。可以达到超高真空（10-8Pa以下）。日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U8H维修保养

能发挥4型的低温泵的高排气特性。高排气速度对于排气效率与生产性提高都能做出贡献。特别适用在半导体制造的溅射工艺装置和小规模的装置上。1台压缩机可以支持4台低温泵同时运作。可以按照用途的不同进行设计、制作。日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U6H维修保养

特点輕量、緊湊，在標準品種尺寸小。適用於實驗室研究室的小型真空設備中。特别适用在半导体制造的溅射工艺装置和小规模的装置上。可以多台運行（大3台）。可以達到超高真空（10-8Pa以下）。日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U4H维修

ULVAC的PBL型油擴散噴射泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經驗所設計而成的。運用到了眾多高真高空設備中，它的實用性得到了非常高的評價。爱发科油扩散喷射真空泵 PBL系列维修保养

ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經驗所設計而成的。運用到了眾多高真高空設備中，它的實用性得到了非常高的評價。爱发科油扩散真空泵PFL系列PFL-22维修保养