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产品名称: 日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U4H维修
产品时间: 2019-02-10
产品型号: CRYO-U4H
产品特点: 特点輕量、緊湊,在標準品種尺寸小。適用於實驗室研究室的小型真空設備中。特别适用在半导体制造的溅射工艺装置和小规模的装置上。可以多台運行(大3台)。可以達到超高真空(10-8Pa以下)。日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U4H维修

日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U4H维修 的详细介绍

标准低温泵 [4型]
CRYO-U4H

vap

 

特点

  • 輕量、緊湊,在標準品種尺寸小。
  • 適用於實驗室研究室的小型真空設備中。
  • 特别适用在半导体制造的溅射工艺装置和小规模的装置上。
  • 可以多台運行(大3台)。
  • 可以達到超高真空(10-8Pa以下)。
  • 日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U4H维修

外形尺寸 (单位:mm)

    标准规格日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U4H维修

    排気速度(20℃)氮气L/s750
    氢气1,100
    氩气620
    2,100
    到达圧力Pa(Torr)10-7(10-9)
    大流量氩气Pa・L/s(Torr・L/s)1.1×103(7.9)
    氢气1.1×102(0.8)
    排气容量氩气Pa・L(Torr・L)5.6×107(4.2×105)
    氢气3.1×105(2.3×103)
    冷却下降时间 (电力循环)min(Hz)80/70(50/60)
    吸气口法兰UVG-150,UFC-203
    压缩机C10, C10AT, C10ES
    质量Kg19

    *维护间隔:16,000小时

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