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产品名称: 日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U6H维修保养
产品时间: 2019-02-10
产品型号: CRYO-U6H
产品特点: 能发挥4型的低温泵的高排气特性。高排气速度对于排气效率与生产性提高都能做出贡献。特别适用在半导体制造的溅射工艺装置和小规模的装置上。1台压缩机可以支持4台低温泵同时运作。可以按照用途的不同进行设计、制作。日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U6H维修保养

日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U6H维修保养 的详细介绍

日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U6H维修保养

标准低温泵 [6型]
CRYO-U6H

vap

 

特点

  • 能发挥4型的低温泵的高排气特性。
  • 高排气速度对于排气效率与生产性提高都能做出贡献。
  • 特别适用在半导体制造的溅射工艺装置和小规模的装置上。
  • 1台压缩机可以支持4台低温泵同时运作。
  • 可以按照用途的不同进行设计、制作。
  • 日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U6H维修保养

外形尺寸 (单位:mm)

    标准规格

    排気速度(20℃)氮气L/s450
    氢气500
    氩气370
    1,100
    到达圧力Pa10-7
    大流量氩气Pa・L/s1.3×103
    排気容量氩气Pa・L1.0×107
    氢气1.5×105
    冷却降下时间min(50/60Hz)45/50
    质量Kg14.5

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