ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經驗所設計而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本爱发科油扩散真空泵 ULK 系列维修保养

采用数码5轴控制的磁力轴承的复合翼状涡轮分子泵。UTM-FH，UTM-FW通过数码5轴控制磁悬轴承的采用，实现高功能·高可靠性·节约能源对应等优势。爱发科数码磁力轴承型涡轮分子真空泵维修

ULVAC的涡轮分子泵，拥有适合研究·开发·生产用途等广泛阵容的产品。根据使用目的·用途·应用可任意选择。爱发科轴承型涡轮分子真空泵 UTM系列维修

罗茨泵是配合干泵、油回转泵、水封泵等组合使用，可以提高粗制泵排气速度低下的10,000-0.1Pa领域的排气速度。爱发科罗茨真空泵PMC-040C PMC-060C维修

罗茨泵是配合干泵、油回转泵、水封泵等组合使用，可以提高粗制泵排气速度低下的10kPa-0.1Pa领域的排气速度。 PRC 系列是特别为洁净度要求高的半导体、液晶制造使用设计的罗茨泵。可以选择大气驱动型。爱发科罗茨真空泵 PRC 系列维修