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产品名称: 爱发科罗茨真空泵 PRC 系列维修
产品时间: 2019-02-09
产品型号: PRC003A PRC006A PRC012A
产品特点: 罗茨泵是配合干泵、油回转泵、水封泵等组合使用,可以提高粗制泵排气速度低下的10kPa-0.1Pa领域的排气速度。
PRC 系列是特别为洁净度要求高的半导体、液晶制造使用设计的罗茨泵。可以选择大气驱动型。爱发科罗茨真空泵 PRC 系列维修

爱发科罗茨真空泵 PRC 系列维修 的详细介绍

罗茨泵
PRC 系列

 

罗茨泵是配合干泵、油回转泵、水封泵等组合使用,可以提高粗制泵排气速度低下的10kPa-0.1Pa领域的排气速度。
PRC 系列是特别为洁净度要求高的半导体、液晶制造使用设计的罗茨泵。可以选择大气驱动型。


爱发科罗茨真空泵 PRC 系列维修​

特点

  • 无油
    泵壳室无润滑油,水蒸气、溶剂等的蒸汽稳定。
  • 采用罐式马达
    采用罐式马达、可以没有大气压/真空的机械。不用担心漏油、可以在清洁的环境中使用。
  • 耐腐蚀性优异的表面处理
    主要部品表面实施了硬度高耐腐蚀性优异的耐酸铝处理、抑制了泵内部的腐蚀伤害。
  • 排气时间缩短有效的大气压驱动型(选项:变换器)
    可以和粗制泵同时启动,比标准型的排气时间更短。爱发科罗茨真空泵 PRC 系列维修​

用途

  • 蒸着、溅射、离子电镀
  • 真空干燥、冻结干燥、真空脱气
  • 分析机器、检漏装置
  • 气体置换、充填、真空断热
  • 热处理炉、溶解炉
  • 其他各种真空装置
  • 苏州昆山太仓无锡上海张家港吴江常熟
    日本爱发科罗茨真空泵 PRC 系列维修PRC003A PRC006A PRC012A PRC018A
  • 镇江常州扬州泰州南通南京启东海门如皋
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  • 连云港昆明九江安庆
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    PRC018A

式样

型式

PRC-003APRC-006APRC-012APRC-018A
大排气速度50Hzm3/h(L/min)280(4670)500(8330)1000(16700)1500(25000)
60Hz330(5500)600(10000)1200(20000)1800(30000)
大吸入压力50HzPa1.2 x 1031.3 x 1031.2 x 103
60Hz9.3 x 1021.1 x 1039.3 x 102
大容许压力差50HzPa4.0 x 1037.3 x 1034.3 x 103
60Hz3.3 x 1036.0 x 1033.2 x 103
到达压力  *1Pa4.0 x 10-16.7 x 10-1
驱动可能圧力Pa〜1.0 x 105(大气压驱动型)
电机出力(极数)  *2kW0.75(2)2.2(2)3.7(2)5.5(2)
使用油 *3ULVOIL R-4
所要油量L0.71.51.9
冷却方式水冷
冷却水一時側圧力MPa0.3
出入口差圧MPa0.01以上
冷却水量L/min23
冷却水温度  *4ºC5 〜 30
吸气口径 JIS-B-2290VG80相当VG100相当VG150相当
排气口径 JIS-B-2290VF80相当VF100相当
外形尺寸(W×D×H)mm296×575×260356×619×320406×759×340406×989×340
质量  *5kg5186118150
标准辅助泵  *6VD601VD901VS1501VS2401
选项大气压驱动(变换器)、润滑油、润滑室排气端口
注)

本式样表、采用SI单位系。非SI单位系的換算请参照如下。
到达压力:4.0 x 10-1 Pa = 3.0 x 10-3 torr 圧力:0.05MPa = 0.5kgf/cm2
PRC 系列不能对应耐圧防爆、安増防爆。

*1皮拉尼真空计测定(辅助泵、标准使用油)。麦克劳德真空计4.0×10-2Pa。
*2AC200V(50Hz/60Hz)、AC220V(60Hz)、3相
*3合成油选项:R-7000、氟油:可以选择J25F。
*4冷却水温低时、请在不结露环境下使用。
*5标准泵的値。(选项:包含变换器)
*6罗茨泵的性能随标准辅助泵的性能变化。上述数据是配合辅助泵时的值。

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