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产品名称: 日本爱发科油扩散真空泵 ULK 系列维修保养
产品时间: 2019-02-09
产品型号: ULK-04A ULK-06A ULK-10A
产品特点: ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經驗所設計而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本爱发科油扩散真空泵 ULK 系列维修保养

日本爱发科油扩散真空泵 ULK 系列维修保养 的详细介绍

油扩散泵
ULK 系列

ulkseries

ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經驗所設計而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本爱发科油扩散真空泵  ULK 系列维修保养​

特点

  • 設計為高臨界背壓。
  • 單台可以抽到〜10-2 Pa (10-4 torr),性能非常穩定。
  • 採用了羅茨法蘭口。(除了ULK-04A、06A)
  • 清潔非常方便。(部品的分解也非常簡單)
  • 具備輔助泵側的油液反流防止機構日本爱发科油扩散真空泵  ULK 系列维修保养​
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