日本KASHIYAMA干式真空泵维修SDE30M09X维修
简单介绍
KASHIYAMA工业株式会社,多年来致力于真空技术的研究,不断开发进取,在半导体制造领域和高科技行业中拥有*的信誉。尤其在半导体制造领域,获得了客户的高度评价与信赖。
KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并,除此之外,鲁式及排气组合式真空泵设备则在其他领域得到广泛应用。
日本KASHIYAMA干式真空泵SDE30M09X
SDE-X系列
功耗1.3千瓦* 1
[与之前的产品相比减少了54%]
具有多种设置兼容各种工艺
值得信赖的真空技术。 一个多样化的产品组,具有的动力。
Kashiyama Industry的产品赢得了客户的广泛信赖,包括半导体和液晶制造领域。
我们多年来培养的真空技术已成为这种信任的基础。
特别是,一系列干式泵已成为半导体制造工艺的标准,是一种可以说是这种真空技术的高潮的产品,并且得到了客户的高度赞誉,它在*困难的工艺中表现出*可靠的性能。。
不仅是干泵,还有机械增压泵,真空排气设备等。由Kashiyama的真空技术生产的产品组在多个领域展示了它的强大功能。日本KASHIYAMA干式真空泵SDE30M09X
特点
采用优良的仓库性能的立式螺丝
结构材料和温度设定导致的高耐腐蚀性
仕様 / 型式 | SDE90X | SDE303X | SDE603X | SDE1203X | SDE20M09X | SDE30M09X |
*大排気速度 | 1,300 | 5,000 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 45,000 |
[L/min] *2 | ||||||
到達圧力 | 1.3 | 0.5 | ||||
[Pa] *2 | ||||||
電源電圧 | 3相 AC200~220V, 380~480V | |||||
(50/60Hz) | ||||||
消費電力 | 1.3 | 1.5 | 1.6 | 2 | 2.6 | 2.8 |
[kW] *1 | ||||||
外観寸法 [mm] | W:370 | W:400 | W:400 | W:400 | W:460 | W:500 |
W*H*L *3 | H:557 | H:905 | H:905 | H:905 | H:960 | H:960 |
L:690 | L:760 | L:760 | L:900 | L:900 | L:1020 |
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一、kashiyama真空泵维修
NeoDry系列NeoDry7E NeoDry15E NeoDry30E NeoDry36E NeoDry60E NeoDry300E
MU-P/H系列MU100P/H MU180P/H MU300P/H MU600P/H MU1200P/H MU20M18P/H
MU-X系列MU100X MU180X MU300X MU600X MU1200X MU20M18X
SDL系列SDL12E50 SDL20E50 SDL36M60 SDL40E60 SDL40E201 SDL40EW201 SDL80201
SDE系列SDE1220 SDE20M20 SDE30M20 SDE4060 SDE4030M20 SDE8060 SDE804060
SDE-X系列SDE90X SDE303X SDE603X SDE1203X SDE20M09X SDE30M09X
SDE-TX系列SDE120TX SDE303TX SDE603TX SDE1203TX SDE20M12TX SDE30M12TX
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