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产品名称: 爱发科真空计G-TRAN多离子规ST2-1/ST2-2
产品时间: 2019-02-11
产品型号: ST2-1/ST2-2
产品特点: 真空环境下测定,对真空计的精度(感度平衡,误差等)和较短的寿命(测定子污垢,放电难等)有困惑吗?ULVAC针对该愿望,开发了在严酷环境下长久,高精度测定的电离真空计。爱发科真空计G-TRAN多离子规ST2-1/ST2-2

爱发科真空计G-TRAN多离子规ST2-1/ST2-2 的详细介绍

 

真空计G-TRAN系列 多离子规ST2-1/ST2-2

 

 

高真空环境下测定,对真空计的精度(感度平衡,误差等)和较短的寿命(测定子污垢,放电难等)有困惑吗?ULVAC针对该愿望,开发了在严酷环境下长久,高精度测定的电离真空计。世界上三极管型金属电离真空计,对运转费大幅削减,过程布留率提高都有效果。

特点

爱发科真空计G-TRAN多离子规ST2-1/ST2-2

  • 世界上三极管型金属电离真空计
    可以实现在恶劣环境下将 三极管的优点大化,并实现长寿命的真空计
  • 测定精度的提高
    实现测定精度±10%,感度稳定性提升
  • 测定子的小型化・金属制
    不必担心玻璃破损
  • 广域测定
    可以测定从大气压到高真空的领域(10+5Pa~10-5Pa)(SPU・SAU在同时使用的情况下)
  • 可以连接不同范围的测定子
    可以根据多离子规的用途来选择测定子
  • 准确的大气压测定
    可以容易且准确的确认大气压(在使用SAU的情况下)
  • 低环境负荷对应
    在运行成本的减少下,可以替换必要的测定子
  • 灯丝使用寿命的通知功能
    通过电源监控,可以提前通知的灯丝寿命
  • 辨认性的提升
    搭载一眼可以确认清楚真空计状态的LED
  • 保养
    容易更换测定子
  • 合适规格
    CE标准对应

用途

爱发科真空计G-TRAN多离子规ST2-1/ST2-2

  • 有机EL、触摸屏等的制造装置到达压力确认以及过程管理用真空炉等各种产业用真空装置的到达压力确认
  • 碳化氢(油基)多的环境下测定
  • 真空部品加工时的切削油及洗净液残留的环境下测定
  • 为了降低真空计测定子的更换频度真空装置中用

※腐蚀性气体(卤素气体)环境下使用的场合请商谈。

规格

苏州昆山太仓无锡上海张家港吴江常熟镇江日本进口爱发科真空泵、爱发科真空计G-TRAN多离子规ST2-1/ST2-2

常州扬州泰州南通南京启东海门如皋海门日本进口爱发科真空泵、爱发科真空计G-TRAN多离子规ST2-1/ST2-2

海安如东宿迁徐州合肥芜湖杭州湖州温州日本进口爱发科真空泵、爱发科真空计G-TRAN多离子规ST2-1/ST2-2

台州衢州绍兴金华宁波余姚福州厦门泉州日本进口爱发科真空泵、爱发科真空计G-TRAN多离子规ST2-1/ST2-2

深圳广州珠海广州惠州通州桂林南宁南昌日本进口爱发科真空泵、爱发科真空计G-TRAN多离子规ST2-1/ST2-2

赣州武汉成都重庆荆州太原兰州乌鲁木齐日本进口爱发科真空泵、爱发科真空计G-TRAN多离子规ST2-1/ST2-2

石家庄天津长春吉林济南青岛威海德州日本进口爱发科真空泵、爱发科真空计G-TRAN多离子规ST2-1/ST2-2

连云港昆明九江安庆日本进口爱发科真空泵、爱发科真空计G-TRAN多离子规ST2-1/ST2-2

 

型号ST2-1ST2-2
机种名标准型通讯型
可以连接的传感器多离子规传感器 : 1套
皮拉尼真空计SPU : 1套(可选)
压力传感器单元SAU : 1套(可选)
测定压力范围1×10-5 ~ 1×10+1Pa
测定精度1×10-4 ~ 3Pa : ±10%
反复精度1×10-4 ~ 3Pa : ±2%
取样时间50ms 5回的移动平均处理
测定值输出输出电压 DC 0 ~ 10V LOG输出 0.75V/1数字
压力换算公式 V=7.25+0.75*(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
*兼有设定值调整用的输出电压(仅限ST2)
更新时间50msec
控制输入信号FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF
开路集电极输入,负逻辑
控制输出信号传感器错误,设定值1/2/3、排放驱动器、
灯丝电力监视
额定:24VMAX、50mAMAX、饱和电压1V
串行通信规格RS232C/RS-485
LED显示POWER/ERROR: 电源、错误LED
FIL: B-A规 灯丝等状态显示
SET1: 设定值1LED
SET2: 设定值2LED
SET3: 设定值3LED
排放电流2mA(1×10-3Pa以下)、10μA
DEGAS电子轰击方式、排放电流2mA、并网电压约330V
传感器耐压2×10+5Pa(压力)
* 法兰或夹子等的耐压力需要另外考虑
传感器内容积SWT-16 : 17cm3
使用温度范围10〜50ºC
使用湿度范围15〜80%(无结露)
保管温度-20〜65ºC(当断电时,无结露)
IP保护等级IP30
电源电压DC20〜28V (纹波、噪声低于1%)
定常时约8W、DEGAS时19W以下、接通电源时6A以下(4ms)
输入输出连接器D-sub15针(M2.6螺)
本体质量控制器约530g 测定子(SWT-16): 80g
外形尺寸 W×D×H约183.8×约75×约62.2mm
適合規格CE

多离子规传感器SWT-16(NW16)
材质:灯丝 : Ir/Y2O3コート
PtC-Mo、SUS304、W、Kovar glass、Kovar/Ni电镀
皮拉尼真空计SPU
皮拉尼规传感器WP-16(NW16)
材质 : 灯丝Pt、其他Bs/Ni电镀、Ni、焊接
压力传感器(NW16) 材质SUS316L
单元电缆ST2 ~ SPU、ST2 ~ SAU显示单元间的线缆 0.5m
连接器1CH: ISG1(DC24V电源使用)
4CH: IM1R1(DC24V电源使用)/IM2R1(AC100V电源使用)
显示单元电缆ST2 显示单元件的电缆
2m、5m、10m、15m、20m
连接器输入输出连接器(D-sub15-soket(M2.6mm螺)
其他检查报告、一般校准测试报告、JCSS校准证书

 

■ 各模式规格:SH2-1/SH2-2可选择SH2-1/SH2-2是多离子规单体模式,皮拉尼真空计与组合模式,皮拉尼真空计及大气压传感器与三倍组合模式的3种使用方法

模式SH2-1/SH2-2
单体模式
SH2-1/SH2-2+SPU
组合模式
SH2-1/SH2-2+SPU+SAU
组合模式
测定压力范围5×10-8〜1×10+1Pa5×10-8〜1×10+4Pa5×10-8〜1×10+5Pa
测定精度5×10-8〜1×10+1Pa:
±15%
5×10-8〜1×10+3Pa:
±15%
1.0×10+3〜3.0×10+3Pa: ±30%
3.0×10+3〜1.0×10+4Pa:
不保证精度
5×10-8〜1×10+3Pa:
±15%
1.0×10+3〜3.0×10+3Pa: ±30%
3.0×10+3〜1.0×10+4Pa:
不保证精度
1.0×10+4〜1.0×10+5Pa: ±3%F.S.
(3×10+3Pa・
基准温度25ºC)
反复精度1×10-6〜1×10-1Pa: ±2%
连接图 (例)

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