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产品名称: 爱发科真空计G-TRAN多离子规SH2-1/SH2-2
产品时间: 2019-02-11
产品型号: SH2-1/SH2-2
产品特点: ULVAC开发不同测定范围的测定子可连接换能器型『G-TRAN 系列多离子规』(特许申请中),并进行制品化。过去复数方式原理组合成一个匡体的复合真空计爱发科真空计G-TRAN多离子规SH2-1/SH2-2

爱发科真空计G-TRAN多离子规SH2-1/SH2-2 的详细介绍

G-TRAN系列 多离子规
SH2-1/SH2-2

 

 

ULVAC开发不同测定范围的测定子可连接换能器型『G-TRAN 系列多离子规』(特许申请中),并进行制品化。过去复数方式原理组合成一个匡体的复合真空计,「一个测定子的故障导致测定子需要全部更换」「测定子结构复杂容易故障」「测定子价格高」等的客户反馈经常听到,如果是这种新方式,可以进行广带域测定,运行费用大幅削减,对应低环境负荷。爱发科真空计G-TRAN多离子规SH2-1/SH2-2

特点

・ 广域测定:从大气压到高真空领域(10+5〜5×10-8Pa)可以进行测定(SPU・SAU同时使用的场合)

・ 不同测定范围的测定子可以连接:多离子规(特许申请中)的采用导致可以选择适合用途的测定子

・ 正确的大气压测定:大气压确认容易过去正确可能(使用SAU场合)

・ 低环境负荷对应:针对测定子进行必要的更换,尽可能降低运行成本费

・ 辨认性提升:搭载可以确认异常的LED

・ 保养性:测定子的更换容易

・ 测定值输出信号:压力0-10V输出(信号输出)

・ 控制输出信号:设定值3点输出可能(SH2-1)

・ 串行通信规格:RS232C/RS485通信可能(SH2-2)

・ 适合规格:CE标准对应

爱发科真空计G-TRAN多离子规SH2-1/SH2-2

用途

・ 太阳能电池,FPD,半导体,电子部品为主的各种制造装置的高真空领域过程控制用

・ 内联式,枚叶式等多种过程室搭载的各种制造装置的高真空领域的到达压力确认用

・ 高真空・超高真空装置的压力测定用

规格

型号SH2-1SH2-2
规格标准规格串行通信规格
自适应多离子规传感器M-34(NW16)、M-35(NW25)、M-36(UFC070)
可以连接的传感器多离子规传感器:1套
皮拉尼真空计SPU:1套(可选)
大气压传感器SAU:1套(可选)
取样时间70ms 4次的移动平均处理
测定值输出td>输出电压 DC 0〜10V LOG输出 0.75V/1位
压力换算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2)
P=10^
* 兼有设定值调整用的输出电压(仅限ST2-1)
更新时间50msec
控制输入信号FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF
开路集电极输入,负逻辑
* FIL ON/OFF信号はモードにより使用方法が異なる
控制输出信号传感器故障,设定值1/2/3、排放驱动器、
灯丝电力监视
额定:24VMAX、50mAMAX、饱和电压1V
串行通信规格RS232C/RS-485
LED显示POWER/ERROR: 电源、错误LED (取决于模式改变闪烁)
FIL: 有效发光的LED
SET1: 设定值1LED
SET2: 设定值2LED
SET3: 设定值3LED
排放电流1mA(1×10-3Pa以下)、10μA
DEGAS电子碰撞解吸方式(电子轰击)1mA、330V
传感器耐压2×10+5Pa(压力)
* 法兰或夹子等的耐压力需要另外考虑
传感器内容积34cm3(M-34)
使用温度范围10〜50ºC
使用湿度范围15〜80%(无结露)
储藏温度-20〜65ºC(当断电时,无结露)
IP防护等级IP30
电源电压DC20〜28V (纹波,噪声低于1%) 
19W以下(当接通电源时156W)
输入输出连接器D-sub15针(M2.6螺)
重量控制器:约530g B-A测定子(M-34):63g
外形尺寸 W×D×H144mm×75mm×62mm以下(控制器单元)
适合规格CE

多离子规传感器M-34(NW16)、M-35(NW25)
材质:灯丝1-Ir/Y2O3涂层、
灯丝2-W(钨)、
其他-PtC・Mo、SUS、W
皮拉尼SPU
皮拉尼规传感器WP-16(NW16)
材质:灯丝Pt、
其他-BS/Ni、电镀、Ni、焊接
大气压传感器SAU(NW16) 材质:SUS316L
单元电缆SPU用0.5m、SAU用0.5m
显示单元1CH:Model ISG1 (DC24V电源使用)
4CH:Model IM1R1 (DC24V电源使用) 、
Model IM2R1 (AC100V电源使用)
显示单元电缆SH2〜显示单元间电缆
2m、5m、10m、15m、20m

 

■ 各模式规格:可选择SH2-1/SH2-2是多离子规单体模式,皮拉尼真空计与组合模式,皮拉尼真空计及大气压传感器与三倍组合模式的3种使用方法

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日本进口爱发科真空泵、真空计G-TRAN多离子规SH2-1/SH2-2

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模式SH2-1/SH2-2
单体模式
SH2-1/SH2-2+SPU
组合模式
SH2-1/SH2-2+SPU+SAU
组合模式
测定压力范围5×10-8〜1×10+1Pa5×10-8〜1×10+4Pa5×10-8〜1×10+5Pa
测定精度5×10-8〜1×10+1Pa:
±15%
5×10-8〜1×10+3Pa:
±15%
1.0×10+3〜3.0×10+3Pa: ±30%
3.0×10+3〜1.0×10+4Pa:
不保证精度
5×10-8〜1×10+3Pa:
±15%
1.0×10+3〜3.0×10+3Pa: ±30%
3.0×10+3〜1.0×10+4Pa:
不保证精度
1.0×10+4〜1.0×10+5Pa: ±3%F.S.
(3×10+3Pa・
基准温度25ºC)
重复性精度1×10-6〜1×10-1Pa: ±2%
连接图 (例)

 

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