新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX500 使用了*的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。 模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。英国爱德华EPX500L 干式真空泵维修保养

新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX180 使用了*的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。 模块化 EPX180 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。英国爱德华EPX180L干式真空泵维修保养

iH 干泵 Edwards iH 干泵为高难度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品）提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列具有五级主泵，使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨设计，可改善粉尘的处理，减少排气噪音。此外，iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和*封闭的水冷却电机。英国edwards爱德华iH1800干式真空泵维修

iH 干泵 Edwards iH 干泵为高难度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品）提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列具有五级主泵，使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨设计，可改善粉尘的处理，减少排气噪音。此外，iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和*封闭的水冷却电机。英国爱德华半导体干式真空泵iH1000维修

Edwards iH 干泵为高难度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品）提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列具有五级主泵，使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨设计，可改善粉尘的处理，减少排气噪音。此外，iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和*封闭的水冷却电机。英国爱德华晶圆半导体iH600干式真空泵维修