VD Series Ver.C是ULVAC原创的搭载了高效率（IE3）宽电压电机的油回转真空泵。 2段式旋片式到达压力好，合适的设计实现了低噪音化，用途广泛。爱发科油回转真空泵VD30C VD60C VD90C维修

VD Series Ver.C是ULVAC原创的搭载了高效率（IE3）宽电压电机的油回转真空泵。 2段式旋片式到达压力好，合适的设计实现了低噪音化，用途广泛。日本进口爱发科真空泵VD151 VD201维修

干泵LR/HR/UR series通过独自的高温均热化技术，有效利用压缩热，实现了CVD、蚀刻等硬流程的高耐久性。轻流程的话通过搭配ECO-SHOCK可以多减少约80%的用电量。 另外，提高了干泵的维护保养性能以及减少了噪音，全机种都能适用爱发科干式真空泵 HR/UR Series维修保养

干泵LR/HR/UR series通过独自的高温均热化技术，有效利用压缩热，实现了CVD、蚀刻等硬流程的高耐久性。轻流程的话通过搭配ECO-SHOCK可以多减少约80%的用电量。 另外，提高了干泵的维护保养性能以及减少了噪音，全机种都能适用爱发科干式真空泵LR/HR/UR Series维修保养

干泵GR series是以有实际和信赖的LR,HR系列为基础，面向一般产业用途设计的简单构造泵。日本爱发科GR系列干式真空泵维修保养GR60A