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产品名称: 日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U22P维修
产品时间: 2019-02-10
产品型号: CRYO-U22P CRYO-U22WB
产品特点: 爱发科低温真空泵、爱发科旋片泵、爱发科真空计。
日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U22P维修

日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U22P维修 的详细介绍

标准低温泵 [22型]
CRYO-U22P

vap

 

外形尺寸 (单位:mm)


日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U22P维修

    标准规格


    日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U22P维修

    排气速度(20℃)氮气L/s11,500
    氢气14,000
    氩气9,700
    39,000
    到达压力Pa(Torr)10-7(10-9)
    大流量氩气Pa・L/s(Torr・L/s)1.7×103(12.8)
    氢气5.0×102(3.7)
    排气容量氩气Pa・L(Torr・L)5.8×108(4.4×106)
    氢气6.0×106(4.5×104)
    冷却降下时间
    (电力循环)
    min(Hz)180/170(50/60)
    吸气口法兰UVG-550
    压缩机装置C30PVRT
    质量Kg115.0

    *维护间隔:16,000小时

    标准低温泵 [22型]
    CRYO-U22WB

    vap

     

    外形尺寸 (单位:mm)

      标准规格

      排气速度(20℃)氮气L/s13,000
      氢气16,500
      氩气11,000
      39,000
      到达压力Pa(Torr)10-7(10-9)
      大流量氩气Pa・L/s(Torr・L/s)3.5×103(26)
      氢气1.3×103(9.6)
      排气容量氩气Pa・L(Torr・L)8.1×108(6.1×106)
      氢气8.5×106(6.4×104)
      冷却降下时间
      (电力循环)
      min(Hz)165/150(50/60)
      吸气口法兰UVG-550
      压缩机设置C30PMVRT×1
      质量Kg125.0

      *维护间隔:16,000小时

      设备介绍

      标准低温泵 [22型]
      CRYO-U22H

      vap

       

      特点

      • 适用于大型成膜装置。
      • 拥有的排除水蒸汽的性能。

      外形尺寸 (单位:mm)

        标准规格

        排气速度(20℃)氮气L/s17,000
        氢气25,000
        氩气14,000
        39,000
        到达压力Pa(Torr)10-7(10-9)
        大流量氩气Pa・L/s(Torr・L/s)4.1×103(31)
        氢气1.3×103(9.6)
        排气容量氩气Pa・L(Torr・L)8.1×108(6.1×106)
        氢气8.5×106(6.4×104)
        冷却降下时间
        (电力循环)
        min(Hz)150/135(50/60)
        吸气口法兰UVG-550
        压缩机装置C30VR×2
        质量Kg125.0

        *维护间隔:16,000小时

        U22H,U30是在贸易管理法规定中属于战略物资的出口管制品。
        在出日本国境时请务必办理日本政府的出口许可申请等手续。

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