设备介绍
标准低温泵 [20型]
CRYO-U20P
日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U20P维修特点
适用于大型成膜装置以及批量式大型成膜装置等大型生产装置。
外形尺寸 (单位:mm)
日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U20P维修标准规格
排气速度(20℃) | 氮气 | L/s | 10,000 |
氢气 | 18,000 | ||
氩气 | 8,400 | ||
水 | 29,000 | ||
到达压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.1×103(8.7) |
氢气 | 5.0×102(3.7) | ||
排气容量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 5.8×108(4.4×106) |
氢气 | 4.6×106(3.4×104) | ||
冷却降下时间 | min(Hz) | 180/160(50/60) | |
吸气口法兰 | UVG-500 | ||
压缩机装置 | C30VR | ||
质量 | Kg | 69.0 | |
*维护间隔：16,000小时
标准低温泵 [20型]
CRYO-U20H
标准规格
排气速度(20℃) | 氮气 | L/s | 10,000 |
氢气 | 18,000 | ||
氩气 | 8,400 | ||
水 | 29,000 | ||
到达压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.7×103(12.8) |
氢气 | 5.0×102(3.7) | ||
排气容量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 5.8×108(4.4×106) |
氢气 | 4.6×106(3.4×104) | ||
冷却下降时间 | min(Hz) | 160/140(50/60) | |
吸气口法兰 | UVG-500,20BANSI,ISO-500 | ||
压缩机装置 | C30PVRT | ||
质量 | Kg | 72.0 | |
*维护间隔：16,000小时
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