设备介绍
排气速度(20℃) | 氮气 | L/s | 5,000 |
氢气 | 10,000 | ||
氩气 | 4,200 | ||
水 | 16,000 | ||
到达压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.6×103(12) |
氢气 | 4.5×102(3.4) | ||
排气容量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 4.3×108(3.3×106) |
氢气 | 2.4×106(1.8×104) | ||
冷却降下时间 (电力循环) | min(Hz) | 120/110(50/60) | |
吸气口法兰 | UVG-400 | ||
压缩机装置 | C30VR | ||
质量 | Kg | 61.0 |
*维护间隔:16,000小时
*可移动基座是选购件
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日本爱发科真空泵、标准低温真空泵CRYO-U16维修、低温真空泵CRYO-U16P保养
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