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产品名称: 日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U30H维修
产品时间: 2023-11-21
产品型号:
产品特点: 日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U30H维修适用于大型成膜装置、太空舱等。拥有的排除水蒸汽的性能。

日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U30H维修 的详细介绍

日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U30H维修特点

适用于大型成膜装置、太空舱等。

拥有的排除水蒸汽的性能。

外形尺寸 (单位:mm)


    日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U30H维修标准规格

    排气速度(20℃)

    氮气

    L/s

    28,000

    氢气

    43,000

    氩气

    23,000

    70,000

    到达压力

    Pa(Torr)

    10-7(10-9)

    大流量

    氩气

    Pa・L/s(Torr・L/s)

    2.7×103(20)

    氢气

    7.4×102(5.6)

    排气容量

    氩气

    Pa・L(Torr・L)

    7.8×108(5.9×106)

    氢气

    1.5×107(1.1×105)

    冷却降下时间
    (电力循环)

    min(Hz)

    240/200(50/60)

    吸气口法兰

    VG-750

    压缩机装置

    C30VR×2

    质量

    Kg

    175.0

    *维护间隔:16,000小时

    U22H,U30是在贸易管理法规定中属于战略物资的出口管制品。
    在出日本国境时请务必办理日本政府的出口许可申请等手续。

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