日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U8H-U维修
排气速度(20℃) | 氮气 | L/s | 1,700 |
氢气 | 2,700 | ||
氩气 | 1,400 | ||
水 | 4,000 | ||
达到压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.2×103(8.9) |
氢气 | 2.4×102(1.8) | ||
排気容量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 1.0×108(7.6×105) |
氢气 | 1.0×106(7.6×103) | ||
冷却下降时间 (电力循环) | min(Hz) | 100/90(50/60) | |
吸气口法兰 | UVG-200,6BANSI,UFC-253 | ||
压缩机 | C10>, C10AT, C10ES | ||
质量 | Kg | 20.8 |
*维护间隔:16,000小时日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U8H-U维修
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