日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U8HL维修
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排气速度(20℃) | 氮气 | L/s | 1,500 |
氢气 | 2,200 | ||
氩气 | 1,200 | ||
水 | 4,000 | ||
到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.2×103(8.9) |
氢气 | 1.6×102(1.2) | ||
排气容量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 1.6×108(1.2×106) |
氢气 | 1.2×106(9.0×103) | ||
冷却降下时间 (电力循环) | min(Hz) | 100/90(50/60) | |
吸气口法兰 | UVG-200 | ||
压缩机装置 | C10, C10AT, C10ES | ||
质量 | Kg | 20 |
*维护间隔:16,000小时
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