特点輕量、緊湊，在標準品種尺寸小。適用於實驗室研究室的小型真空設備中。特别适用在半导体制造的溅射工艺装置和小规模的装置上。可以多台運行（大3台）。可以達到超高真空（10-8Pa以下）。日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U4H维修

ULVAC的PBL型油擴散噴射泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經驗所設計而成的。運用到了眾多高真高空設備中，它的實用性得到了非常高的評價。爱发科油扩散喷射真空泵 PBL系列维修保养

ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經驗所設計而成的。運用到了眾多高真高空設備中，它的實用性得到了非常高的評價。爱发科油扩散真空泵PFL系列PFL-22维修保养

ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經驗所設計而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本爱发科油扩散真空泵 ULK 系列维修保养

采用数码5轴控制的磁力轴承的复合翼状涡轮分子泵。UTM-FH，UTM-FW通过数码5轴控制磁悬轴承的采用，实现高功能·高可靠性·节约能源对应等优势。爱发科数码磁力轴承型涡轮分子真空泵维修