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产品名称: 莱宝低温真空泵COOLVAC 2000 iCL 维修
产品时间: 2019-01-20
产品型号: COOLVAC 2000 iCL
产品特点: COOLVAC / COOLPOWER / COOLPAK系列低温产品
莱宝COOLVAC系列低温泵,*,可靠耐用,维护简单,适应科研和工业的应用要求。莱宝低温真空泵COOLVAC 2000 iCL 维修

莱宝低温真空泵COOLVAC 2000 iCL 维修 的详细介绍

低温

 

COOLVAC / COOLPOWER / COOLPAK系列低温产品

莱宝COOLVAC系列低温泵,*,可靠耐用,维护简单,适应科研和工业的应用要求。
莱宝低温真空泵COOLVAC 2000 iCL 维修

COOLVAC 低温泵系列

COOLVAC真空泵是制冷型低温泵,通过低温冷凝的方法借由泵内的冷壁将气态物质捕集从而产生真空。正是因为这个原理,COOLVAC低温泵具有高有效抽速

1500/2000/3000iCL COOLVAC iCL系列全自动再生低温泵

莱宝COOLVAC低温泵的工作范围10-3到≤10-11mbar(0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托)属于气体捕集泵。工作原理是将气态物质通过低温冷凝和低温捕集到泵内冷表面。为了能够获得高真空或超高真空,冷表面(低温板)必须冷却到足够低的温度。根据所用冷却系统的类型可以分为制冷机低温泵、 贮槽式低温泵和蒸发器低温泵。
莱宝低温真空泵COOLVAC 2000 iCL 维修

莱宝COOLVAC低温泵的工作范围10-3到≤10-11mbar(0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托)属于

气体捕集泵。工作原理是将气态物质通过低温冷凝和低温捕集到泵内冷表面。为了能够获得高真空或超高真空,冷表面(低温板)必须冷却到足够低的温度。根据所用冷却系统的类型可以分为制冷机低温泵、 贮槽式低温泵和蒸发器低温泵。

莱宝公司生产用制冷机冷却低温泵。

 

客户得益

低温泵的优势:

- 所有气体都有高抽速

- 对水汽有极高的抽速

对于相同直径的高真空法兰,低温泵可以达到所有高真空泵MAX的抽速。

低温泵的优势2:

与气体传输泵(例如涡轮分子泵)相比,低温泵在真空侧没有任何机械活动

部件、润滑油或脂润滑部件。所以:- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).压强范围的无烃真空

- 对外部振动不敏感

其它优点:

- 与其他高真空泵相比更加紧凑(抽速大于1500 l x s-1)

- 仅启动和再生期间需要前级泵

- 利用计算机更容易对工艺和泵进行控制

- 性价比更高,使用成本更低,尤其是需要大抽速的应用

 

莱宝真空生产的低温泵采用本厂生产的COOLPOWER双级冷头冷却(Gifford/McMahon原理)。

有关COOLVAC系列低温泵的设计,请见以下示意图的内容。

一级冷头(9)冷却热辐射防护屏和低温泵的障板(6)。

根据泵的型号和工作条件不同,达到45到80K的工作温度,水蒸汽在这里冷凝。

热辐射防护屏和障板为铜质,它们能很好地传递热量,从而优化制冷容量。

另外,热辐射防护屏经过抛光,将反射损失降到尽可能小。二级冷头(7)用于冷却冷伞(8)。

根据工作条件,达到 10到 20 K的工作温度。氮气、氧气和氩气在这里低温冷凝。冷伞采用高导热铜材与二级冷头紧密相连。氢气、氖气和氦气被吸附到冷伞上面部分覆盖活性炭上。

Leybold COOLVAC低温泵示意图.JPG

COOLVAC制冷机低温泵

COOVAC系列的所有低温泵都配有安全阀(UHV型带有爆破膜),安全阀由工厂设置,过压150mbar(113托)时打开。

为了保证在安全阀动作时,安全地排出可能影响健康的气体,安全阀另配有一个 DN 40 KF 法兰,上面可以连接一条排气管线。

低温泵的再生

低温泵工作的一个重要方面是再生。由于低温泵属于气体捕集泵,所以被抽气体都蓄积在泵内,饱和后必须泵排出。

具体操作方法是关闭压缩机并加热低温区到室温或略高的温度,由前级真空泵将释放的气体排出。

非电控再生系统的低温泵这种低温泵通过向泵内吹扫干燥、预热的惰性气体(例如氮气)加热低温区到室温。此情况下,由于低温泵内不可能有确定的和受控制的温度,所以无法排除氢气和氧气同时存在的情况。只有通过干燥惰性气体的稀释作用来防止可燃混合气的形成。

多台低温泵组合操作

由于莱宝真空的压缩机COOLPAK 6000HD功能强大,可以同时驱动两个以上冷头或低温泵。

客户得益

- 极大的降低投资和操作成本

- 占地面积小

 

莱宝真空全自动加热再生低温泵

低温泵通过电加热器将一级和二级冷头加温到室温。此类情况下,低温泵内可以达到确定和受控制的温度分布。这个受控制的加温过程保证了气体被连续排出,也就是按以下顺序气体一个接一个

被释放:

- 吸附在冷伞上的气体(例如氢气、  氦气、氖气)

- 冷凝在冷伞上的气体(例如氮气、  氧气、氩气)

- 冷凝在障板和热辐射防护屏上的气  体和蒸汽(例如水蒸汽)

莱宝真空采用的这种电加热再生方法能够防止氢气和氧气之类的气体在泵内同时存在,从根本上排除了可燃混合气形成的可能。

加温过程为全自动,泵内的压强和温度分布,始终由控制系统确定和控制,从而保证莱宝真空低温泵再生期间较大限度的安全。

 

莱宝真空的低温泵分自然再生(BL)和全自动加热再生(iCL)两个系列:

1. COOLVAC ClassicLine(COOLVACiCL),单品以对氮气抽速命名(单位l/s),如COOLVAC 1500 iCL对氮气的抽速为1500l/s。可提供从1500到60000l/s的全系列产

品。

在报价清单上,泵名称带有符号“V”的:“V”表示高真空接口位于上端,冷头在下面,例如COOLVAC 1500 iCL-V、DN 200 CF。

2. COOLVAC BaseLine的命名规则相同,可提供从1500到60000l/s的全系列产品。

3. 特殊低温泵

莱宝真空可以根据客户要求提供特制低温泵,如为航天环境模拟应用提供大口径液氮辅助制冷低温泵CV30000BLN2和CV60000BLN2

低温泵的优势:

- 所有气体都有高抽速

- 对水汽有极高的抽速

对于相同直径的高真空法兰,低温泵可以达到所有高真空泵MAX的抽速。

低温泵的优势2:

与气体传输泵(例如涡轮分子泵)相比,低温泵在真空侧没有任何机械活动

部件、润滑油或脂润滑部件。所以:- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).压强范围的无烃真空

- 对外部振动不敏感

其它优点:

- 与其他高真空泵相比更加紧凑(抽速大于1500 l x s-1)

- 仅启动和再生期间需要前级泵

- 利用计算机更容易对工艺和泵进行控制

- 性价比更高,使用成本更低,尤其是需要大抽速的应用

 苏州昆山太仓无锡上海张家港吴江1500iCL/2000iCL/3000iCL低温真空泵维修

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宁波余姚福州厦门泉州深圳广州珠海1500iCL/2000iCL/3000iCL低温真空泵维修

广州惠州通州桂林南宁南昌赣州武汉1500iCL/2000iCL/3000iCL低温真空泵维修

成都重庆荆州太原兰州乌鲁木齐石家庄1500iCL/2000iCL/3000iCL低温真空泵维修

天津长春吉林济南青岛威海德州连云港1500iCL/2000iCL/3000iCL低温真空泵维修

昆明九江安庆1500iCL/2000iCL/3000iCL低温真空泵维修

客户得益

- 无烃高真空

- 抽氩气和氮气能力强

- 切入阈值高

- 操作简单

- 易于整合到复杂系统

- 全自动再生

- 维修简单

典型应用

- 蒸发器

- 溅射系统

- 离子注入机

- 光学镀膜机

订货信息

  

COOLVAC 1500   iCL

 
  

单泵操作

双泵操作

多泵组合操作

 

欧洲

美国/日本

欧洲 美国/日本

欧洲 美国/日本

   

产品号

 

产品号

产品号

COOLVAC 1 500 iCL DN 200 CF   DN 6" ANSI DN 200 ISO-K

 

844200V0002 844200V0004   844200V0006

 

844200V0002 (2x)   844200V0004 (2x) 844200V0006 (2x)

844200V0002 (3x)   844200V0004 (3x) 844200V0006 (3x)

 

 

 

 

订货信息

  

COOLVAC 2000   iCL

 
  

单泵操作

双泵操作

多泵组合操作

 

欧洲

美国/日本

欧洲 美国/日本

欧洲 美国/日本

   

产品号

 

产品号

产品号

COOLVAC 2000 iCL DN 250 CF   DN 8" ANSI DN 250 ISO-K

 

844251V0002 844251V0004   844251V0006

 

844251V0002 (2x)   844251V0004 (2x) 844251V0006 (2x)

844251V0002 (3x)   844251V0004 (3x) 844251V0006 (3x)

 

 

订货信息

  

COOLVAC 3000   iCL

  
  

单泵操作

 

双泵操作

 
 

欧洲

 

美国/日本 欧洲

 

美国/日本

   

产品号

  

产品号

 

COOLVAC 3000 iCL DN 10" ANSI DN 320 ISO-K

 

844321V0004 844321V0006

844321V0004 (2x)   844321V0006 (2x)

技术参数                                      COOLVAC

                                 1500 iCL          2000iCL          3000iCL

高真空(HV)法兰

DN

200 ISO-K / 200 CF / 6" ANSI

250 ISO-K / 250 CF / 8

 ANSI

320 ISO-K / 10

 ANSI

 

前级真空法兰

DN

25 KF

25 KF

 

25 KF

  

连接真空计的法兰

DN

16 KF

16 KF

 

16 KF

  

电气连接法兰

DN

16 KF

16 CF

 

16 CF

  

带排气管接头的 DN 40 KF法兰的安全阀

DN

40 KF

40 KF

 

40 KF

  

4针穿通密封接口(连接测温硅二级管)

DN

16 KF

16 KF

 

16 KF

  

加热器一级 二级

W V ACW V AC

160 42 90 42

160 42 90 42

 

160 42 90 42

  

温度传感器一级二级

 

Pt100 硅二级管

Pt100 硅二级管

 

Pt100硅二级管

  

内置冷头

COOLPOWER

7/25

7/25

 

7/25

重量

kg (lbs)

25 (55 2)

25 (55 2)

 

35 (77 3)

T2

 = 20 K的冷却时间

min

60

70

 

80

切入阈值

mbar x l (Torr x l)

210 (157)

250 (187)

 

500 (375)

抽速水汽 氩气/氮气 氢气

l x s-1l x s-1l x s-1

4600 1200 / 1500 2500

7000 1600 / 2100 3200

 

10500 2500 / 3000 6000

容量氩气/氮气 10-6 mbar时氢气

bar x l bar x l

1000 / 1000 12 0

1600 / 1600 15

 

2500 / 2500 28

气载量氩气/氮气 氢气

mbar x l x s-1 (Torr x l x s-1)mbar x l x s-1 (Torr x l x s-1)

12 (9) / 12 (9) 6 (4 5)

12 (9) / 12 (9) 6 (4 5)

 

15 (11 2) / 15 (11 2) 10 (7   5)

氦接口 (自密封接头:外螺纹,5400-S2-8型)

DN

1/2"

1/2

 

1/2

 

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