干泵LR/HR/UR series通过独自的高温均热化技术，有效利用压缩热，实现了CVD、蚀刻等硬流程的高耐久性。轻流程的话通过搭配ECO-SHOCK可以多减少约80%的用电量。 另外，提高了干泵的维护保养性能以及减少了噪音，全机种都能适用爱发科干式真空泵 HR/UR Series维修保养

干泵LR/HR/UR series通过独自的高温均热化技术，有效利用压缩热，实现了CVD、蚀刻等硬流程的高耐久性。轻流程的话通过搭配ECO-SHOCK可以多减少约80%的用电量。 另外，提高了干泵的维护保养性能以及减少了噪音，全机种都能适用爱发科干式真空泵LR/HR/UR Series维修保养

干泵GR series是以有实际和信赖的LR,HR系列为基础，面向一般产业用途设计的简单构造泵。日本爱发科GR系列干式真空泵维修保养GR60A

干泵CR series Ver.B是获得规格（CE,cTUVus）的空冷式罗茨型泵。运转时排气室内不使用油，转子和汽缸也无接触，可长时间稳定运转。爱发科真空泵、干泵CR Series Ver.B维修

用途 ● 镀膜、溅射、离子镀 ● 真空热处理炉、溶解炉 ● 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气