氦检漏上门服务采用的氦检漏试验装置由氦质谱检漏仪、抽真空机组、真空表、压力表等设备和仪器仪表所组成。氦质谱仪主要有进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。

Edwards APG100 有源皮拉尼真空计包括标准型和防腐蚀型，测量范围分别为从大气压到 10-3 或 10-4。这种真空计与所有 Edwards TIC 仪表控制器兼容，*符合 RoHS 指令。英国爱德华APG100 有源皮拉尼真空计