G 版本泵可与少量腐蚀性气体兼容。扫气管路的三个喷嘴用于防御少量腐蚀性气体,同时保护低压和高压球轴承。为取得轴承的保护效果,必须将中性吹扫气体输入管路中的压力调节到 0.3 bar,以便达到技术数据中规定的吹扫气体流量。
技术参数
1264-Typical ultimate pressure with N2 purge | 1 · 10-1 百帕 |
N2 小密封气流 | 40 slpm (0 °C) |
不带气镇的声压级 | 70 分贝 (A) |
典型终压力 | 3 · 10-2 百帕 |
冷却 | 空气 |
声压水平 | 70 分贝 (A) |
尺寸(长 x 宽 x 高) | 647 x 193 x 322 毫米 |
抽速 | 27 m³/h | 15.89 cfm | 450 l/min |
大排气压力 | 1200 百帕 |
大氦气泄漏率 | 5 · 10-7 Pa m3/s | 3.75 · 10-6 Torr l/s | 5 · 10-6 mbar l/s |
大连续进气压力 | 1013 百帕 |
尺寸
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一、进口真空泵维修:
1、BOC EDWARDS(爱德华):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(贝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其乐):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
9、ULVAC(爱发科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA(岩田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL(汉钟)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652