设备介绍
排气速度(20℃) | 氮气 | L/s | 4,000 |
氢气 | 6,000 | ||
氩气 | 3,300 | ||
水 | 9,500 | ||
到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 2.0×103(15) |
氢气 | 4.1×102(3.1) | ||
排气容量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 2.1×108(1.6×106) |
氢气 | 9.8×105(7.4×103) | ||
冷却降下时间 (电力循环) | min(Hz) | 85/75(50/60) | |
吸气口法兰 | UVG-300,10BANSI | ||
压缩机装置 | C30VR | ||
质量 | Kg | 40.0 |
*维护间隔:16,000小时
*可移动基座是选购件
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